四（甲乙胺）鋯

關鍵詞：

MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

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產(chǎn)品描述

中文名	化學式	CAS號	英文簡稱	英文名	類別
四（甲乙胺）鋯	C12H32N4Zr	175923-04-3	TEMAZ	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium	前驅體

四（甲乙胺）鋯（TEMAZ）
化學式	C12H32N4Zr
中文名稱	四（甲乙胺）鋯
英文名稱	Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium
CAS No.	175923-04-3
分子量	323.63
應用	主要用于CVD、ALD、等離子體增強原子層沉積(PEALD)工藝，是生產(chǎn)ZrO2的前驅體。 ZrO2在45nm晶體管的制備中代替二氧化硅，可以顯著減少漏電量，還是COMS和動態(tài)存儲（DRAM）的高k絕緣材料，是目前解決動態(tài)存儲和高清顯示技術難題的最優(yōu)選材料之一；可作阻變存儲器的介質層前驅體；可作鋰離子電池正極包覆沉積前驅體。
產(chǎn)品規(guī)格	6N（99.9999%）