磷酸三甲酯

關(guān)鍵詞：

MO源領(lǐng)域、電子級(jí)碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域

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產(chǎn)品描述

中文名	化學(xué)式	CAS號(hào)	別名	英文名	產(chǎn)能情況和庫(kù)存
磷酸三甲酯	C3H9O4P	512-56-1	TMPO	Trimethyl phosphate	前驅(qū)體

磷酸三甲酯（TMPO）
化學(xué)式	C3H9O4P
中文名稱	磷酸三甲酯
英文名稱	Trimethyl phosphate
CAS No.	512-56-1
分子量	140.07
應(yīng)用	用于在半導(dǎo)體應(yīng)用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(zhì)(PMD)以及金屬層間介電質(zhì)(AVID)在IC制造中有著廣泛的應(yīng)用。二氧化硅原有的有序網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)由于硼磷雜質(zhì)(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動(dòng)能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個(gè)硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。
產(chǎn)品規(guī)格	9N（99.9999999%）